填补青岛半导体核心装备领域空白

　　□本报记者 刘腾

　　6月27日，青岛思锐智能半导体先进装备研发制造中心在青岛自贸片区落成投产。该中心填补了青岛市在半导体核心装备领域的空白，标志着青岛在半导体产业自主创新和高端装备制造领域迈出重要一步。
　　作为2024年度和2025年度的山东省重大项目及青岛市重点项目，思锐智能半导体先进装备研发制造中心由思锐智能与青岛城投集团联合打造。项目总占地约95亩，总建筑面积达8.6万平方米，计划投资超12亿元，聚焦原子层沉积镀膜（ALD）和离子注入机（IMP）两大核心半导体前道设备的研发与量产。
　　“思锐智能是目前国内唯一一家同时提供离子注入机和原子层沉积设备并实现关键技术自主突破的高科技企业。项目从建设到投产仅用一年时间，展现了龙头企业的责任与担当，进一步完善了青岛市集成电路产业链布局，对产业升级具有重要的示范引领作用。希望思锐智能以此为契机，深化科技创新与人才培育，为青岛半导体产业发展注入新动能。”青岛自贸片区管委副主任隋斌表示。
　　思锐智能半导体先进装备研发制造中心不仅是一座年产百台设备的生产基地，更是构建“技术-制造-生态”闭环的关键节点。青岛思锐智能科技股份有限公司董事长聂翔表示：“我们将依托该中心加速突破ALD、IMP等关键技术瓶颈，深化在集成电路、功率化合物等领域的布局。同时持续加大研发投入，深化与政府、高校及海外机构的合作，打造全球领先的研发验证平台和人才聚集区，助力中国半导体产业链自主可控。”
　　据悉，青岛思锐智能科技股份有限公司由中国中车集团及旗下基金通过深度“产融结合”的方式联合发起设立，注册资本11亿元，主要聚焦关键半导体前道工艺设备的研发、生产和销售，提供具有自主可控的关键核心技术的系统装备产品和技术服务方案，主要业务包括原子层沉积设备及离子注入设备，广泛应用于集成电路、以功率与化合物为代表的第三代半导体、新能源、光学、生物医学等诸多高精尖领域。
　　2018年9月，思锐智能完成对ALD技术发源地——芬兰倍耐克公司100%股权的收购工作。思锐智能及子公司BENEQ在全球拥有近480项专利，在ALD和IMP技术及应用方面具备雄厚的技术积累，是国内极少拥有全球客户拓展能力的中高端半导体装备生产制造商，业务范围覆盖全球40个国家及地区，累计超过500个全球客户。
　　思锐智能项目的落地进一步增强了青岛自贸片区在半导体高端装备领域的竞争力，为青岛打造“中国芯谷”注入新动能。未来，青岛自贸片区将持续优化营商环境，支持企业创新发展，推动集成电路产业实现更高质量、更高水平的发展。
　　青岛市集成电路产业园自2022年11月揭牌成立以来，紧紧围绕高端化、智能化、绿色化、集群化发展方向，坚持以科技创新为引领，培育发展新质生产力，集成电路产业规模持续壮大、产值稳步提升。青岛城投集团发挥市直国企担当，深度参与产业园发展，协同管委专班共同推动园区规划前瞻性研究、专业载体投资开发、产业联合招商、专项基金搭建等工作，促成以思锐智能为代表的关键链条企业落地投产。截至目前，产业园已累计集聚产业链上下游项目46个，总投资约1803亿元，涵盖设计、制造、封测、材料、设备等全产业领域，入围“中国集成电路园区综合实力TOP30”榜单第17位，带动青岛市跻身全球集成电路产业综合竞争力百强城市第81位，展现出强劲的发展潜力。